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高深寬比絕緣樹脂材料技術

高深寬比厚膜絕緣樹脂材料，尤其適合於微細結構製造。其主要特點包括能夠形成非常厚且精確的結構，並具有高機械強度和良好的化學穩定性；另導入脂肪族結構，可以提升紫外線至近紅外波段的光學透明性；此外，由於其能承受高達200˚C的溫度，適合高溫應用，因此高深寬比厚膜絕緣樹脂被廣泛應用於微流體學、生物醫學、光學元件和微型感測器等領域，是製造高精度微型結構的理想選擇。本文將就泛用的高深寬比絕緣樹脂材料的特性及其製程作一概括介紹，並說明工研院材料與化工...... [詳細]

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